多晶硅是一种由硅元素组成的晶体形态,它由许多晶界和晶粒构成。与单晶硅相比,多晶硅的晶粒结构不规则,具有多个晶界,因此晶格连续性较差。
【资料图】
多晶硅的原材料是硅矿石,主要是二氧化硅(SiO2)。它可以从石英、石英砂、硅灰石等硅矿石中提取。在生产过程中,硅矿石被破碎、磨细成粉末状物料,然后通过冶炼和结晶工艺,将硅矿石转化为多晶硅块或棒形的终端产品。
以下是典型的多晶硅生产工艺流程
1、原料准备将硅矿石经过破碎、磨粉等处理步骤,得到粉末状的硅料。
2、炉料制备将硅料与还原剂(通常是冶金级纯氢气)混合,并形成制备炉料。
3、炉料熔炼将炉料加入多晶硅熔炉中,在高温条件下进行熔炼。在熔融状态下,硅料中的氧化物被还原,生成纯净的硅液。
4、结晶棒生长从熔融硅液中引出一根细小的种晶棒(通常是单晶硅或多晶硅),并将其浸入炉内。通过缓慢提升晶棒温度、移动晶棒等操作,促使硅液在晶棒上结晶。
5、多晶硅棒生长在晶棒表面的硅液逐渐冷却凝固,形成多晶硅棒。此时,硅原子在多个晶界上排列,形成多晶结构。
6、棒坯切割将多晶硅棒根据需要的尺寸和形状,通过机械或者切割工序进行切割,得到所需的多晶硅块。
7、多晶硅块再加工多晶硅块可以通过进一步的加工步骤,如研磨、抛光和腐蚀等,得到符合要求的多晶硅片或其他形状的多晶硅产品。
8、需要注意的是,以上是一种典型的多晶硅生产工艺流程,实际生产中可能根据具体的工艺设备和产品要求有所不同。